近年為了抗衡西方國家制裁，中共投入巨資發展國產晶片製造業，導致國內光刻膠需求量大增。而近日，世界主要光刻膠供應商日本信越化學開始限制對中國一線晶圓廠的KrF光刻膠供應量，並已停止向規模小的中國晶圓廠供貨。
據大陸集微網報道，信越化學近日已通知中國大陸多家規模較大的一線晶圓廠，該公司將限制供應KrF光刻膠的數量，同時已停止向那些規模較小的中國晶圓廠供貨。
目前全球超過85%的半導體光刻膠份額由日本和美國企業所主導，這些企業包括日本合成橡膠（JSR）、TOK、住友化學、信越化學以及美國陶氏化學等。其中，JSR是當今全球規模最大、技術最領先的光刻膠龍頭企業，因特爾、三星和台積電都是JSR的核心客戶；而信越化學的主要切入點是KrF和ArF光刻膠產品，同時也在開發EUV光刻膠，是中國大陸許多晶圓廠的光刻膠供貨商。
據公開資料，光刻膠是半導體光刻工藝的關鍵材料，其產品按照曝光波長可分為g線、i線、KrF、ArF和 EUV光刻膠，而後三者是高端光刻膠。
今年以來，不僅在中國設廠的台積電、三星、英特爾、聯電等晶圓廠在積極擴大產量，中芯國際、華虹宏力、廣州粵芯等中國本土晶圓廠也在加大力度擴大產量、釋放產能，導致中國國內光刻膠需求量大增，KrF、ArF等高端光刻膠尤其短缺，而中國適用於6英吋矽片的g線和i線光刻膠自給率，目前約為20%；適用於8英吋矽片的KrF光刻膠的自給率則不足5%；適用於12寸矽片的ArF光刻膠則完全依靠進口。
集微網引述業內人士的話表示，未來中國國內多家晶圓廠或將面臨KrF光刻膠大缺貨的艱難處境。◇
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