大陸自產光刻機參數曝光 與國際水平差多遠 9月份中共工信部發布了《首台（套）重大技術裝備推廣應用指導目錄（2024年版）》，雖然這份清單包含了各種製造工具，但兩台光刻機尤其... 光刻機套刻精度DUVEUV晶片產業浸潤式光刻機 2024年9月26日
